Composition for forming resist underlayer film

WO2025173744 Art A1 21. August 2025

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025173744
Aktenzeichen
EP25754615
Anmeldetag
13. Februar 2025
Veröffentlichung
21. August 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C08G59/02G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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