Machine Learning Assisted Pupil Metrology

WO2025176382 Art A1 28. August 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025176382
Aktenzeichen: EP25700762
Anmeldetag: 15. Januar 2025
Veröffentlichung: 28. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N23/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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