Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Optischen Reflektivität einer Gekrümmten Oberfläche eines Optischen Prüflings

WO2025176802 Art A1 28. August 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025176802
Aktenzeichen: EP25707929
Anmeldetag: 20. Februar 2025
Veröffentlichung: 28. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/27G01M11/00G01N21/33G01N21/55G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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