Chuck, prober having same, and wafer test system
WO2025177784
Art A1
28. August 2025
Anmelder: WELCON INC., TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025177784
- Aktenzeichen
- EP25758182
- Anmeldetag
- 28. Januar 2025
- Veröffentlichung
- 28. August 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- WELCON INC.
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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