Temperature control system

WO2025177873 Art A1 28. August 2025

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025177873
Aktenzeichen: EP25757969
Anmeldetag: 10. Februar 2025
Veröffentlichung: 28. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065C23C14/50C23C16/46G05D23/00G05D23/19H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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