Method for die-to-die hybrid bonding using an advanced distribution model

WO2025178884 Art A1 28. August 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, SICLARITY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025178884
Aktenzeichen
EP25758393
Anmeldetag
18. Februar 2025
Veröffentlichung
28. August 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
SICLARITY, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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