Off-axis through the lens mutually coherent dark field imaging system with incoherent light for overlay metrology
WO2025179084
Art A1
28. August 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025179084
- Aktenzeichen
- EP25758824
- Anmeldetag
- 21. Februar 2025
- Veröffentlichung
- 28. August 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B11/27G01B11/25G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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