Selective deposition of aluminum-containing dielectric material on dielectric over metals utilizing silanes

WO2025179113 Art A1 28. August 2025

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025179113
Aktenzeichen: EP25713403
Anmeldetag: 21. Februar 2025
Veröffentlichung: 28. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/32H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: VERSUM MATERIALS US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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