Methods for manufacture of sequence-defined, stochastic-controlled polymeric euv photoresists

WO2025179288 Art A1 28. August 2025

Anmelder: CORNELL UNIVERSITY, THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025179288
Aktenzeichen: EP25759020
Anmeldetag: 24. Februar 2025
Veröffentlichung: 28. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038C08G69/02G03F7/039H01L21/312H01L21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen: CORNELL UNIVERSITY
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Land: 🇺🇸 USA

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