Restgasanalyse-Verfahren und Restgasanalyse-System

WO2025180678 Art A1 4. September 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025180678
Aktenzeichen: EP24817193
Anmeldetag: 27. November 2024
Veröffentlichung: 4. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N33/00G03F7/00H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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