Forming A Reference Irradiance Pattern On A Detector

WO2025180817 Art A1 4. September 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025180817
Aktenzeichen: EP25703630
Anmeldetag: 10. Februar 2025
Veröffentlichung: 4. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H04N23/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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