Contamination Handling in Metrology Systems

WO2025180952 Art A1 4. September 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025180952
Aktenzeichen: EP25707928
Anmeldetag: 20. Februar 2025
Veröffentlichung: 4. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/02H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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