Method for determining the image sharpness of a particle-optical image, method for the automated adjustment of a particle beam system with regard to its image sharpness, computer program product and particle beam system

WO2025181007 Art A1 4. September 2025

Anmelder: CARL ZEISS MULTISEM GMBH, CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025181007
Aktenzeichen
EP25709633
Anmeldetag
24. Februar 2025
Veröffentlichung
4. September 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CARL ZEISS MULTISEM GMBH
CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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