Processing method, processing device, program, and high-purity raw material composition

WO2025182671 Art A1 4. September 2025

Anmelder: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION, L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'E 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025182671
Aktenzeichen: EP25761430
Anmeldetag: 18. Februar 2025
Veröffentlichung: 4. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C23C16/42H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'E
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von