Semiconductor substrate and semiconductor thin film deposition apparatus

WO2025183438 Art A1 4. September 2025

Anmelder: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025183438
Aktenzeichen: EP25762355
Anmeldetag: 25. Februar 2025
Veröffentlichung: 4. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/26C23C14/00C23C14/06C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea University Research and Business Foundation

Südkoreanische Einrichtung, die Forschungsprojekte und Technologietransfer der Korea University verwaltet, patentiert Ergebnisse aus universitärer Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin und überführt sie in Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von