Laser-Sustained Plasma Generation in Supersonic Gas Jets
WO2025183723
Art A2
4. September 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025183723
- Aktenzeichen
- EP24927507
- Anmeldetag
- 1. Juli 2024
- Veröffentlichung
- 4. September 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/24H01J37/32H05H1/00H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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