Chuck assembly, planarization process, apparatus and method of manufacturing an article

WO2025183820 Art A1 4. September 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025183820
Aktenzeichen: EP25762253
Anmeldetag: 21. Januar 2025
Veröffentlichung: 4. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01L21/3105H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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