Method of determining a sampling scheme. associated apparatus and computer program

WO2025185902 Art A1 12. September 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025185902
Aktenzeichen: EP25702909
Anmeldetag: 6. Februar 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von