Metrology tool and components therefor

WO2025185943 Art A1 12. September 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025185943
Aktenzeichen: EP25704876
Anmeldetag: 12. Februar 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/22G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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