Magnetic bearing device, turbomolecular pump, and control method for
WO2025186729
Art A1
12. September 2025
Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025186729
- Aktenzeichen
- EP25714854
- Anmeldetag
- 5. März 2025
- Veröffentlichung
- 12. September 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D27/02F04D29/051F04D29/058
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EDWARDS JAPAN LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
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