Reverse surface processing device, substrate processing system, and substrate transport method

WO2025187444 Art A1 12. September 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025187444
Aktenzeichen: EP25767829
Anmeldetag: 21. Februar 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/16G03F7/20G03F7/30G03F9/00H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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