Polishing head, polishing apparatus, and polishing method

WO2025187538 Art A1 11. September 2025

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025187538
Aktenzeichen: EP25767729
Anmeldetag: 27. Februar 2025
Veröffentlichung: 11. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B21/08B24B1/00B24B21/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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