Gallium nitride sputtering target, gallium nitride film, method for producing gallium nitride film, layered substrate, semiconductor element, and electronic equipment
WO2025187567
Art A1
12. September 2025
Anmelder: TOSOH CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025187567
- Aktenzeichen
- EP25767757
- Anmeldetag
- 28. Februar 2025
- Veröffentlichung
- 12. September 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34C04B35/58C23C14/06H01L21/363
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOSOH CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tosoh Corporation
Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.
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