Method for forming composite oxide pattern

WO2025187606 Art A1 12. September 2025

Anmelder: INSTITUTE OF SCIENCE TOKYO, KANAGAWA INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHN, SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025187606
Aktenzeichen: EP25767796
Anmeldetag: 3. März 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C23C14/04C23C16/04C23C16/40H01L21/363

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: INSTITUTE OF SCIENCE TOKYO
KANAGAWA INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHN
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von