Transformerless pulsed bias voltage generator with damper

WO2025188546 Art A1 12. September 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025188546
Aktenzeichen: EP25768363
Anmeldetag: 27. Februar 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H02M3/07H02M1/08H02M1/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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