Degas module for pulsed laser deposition

WO2025188670 Art A1 12. September 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025188670
Aktenzeichen: EP25768207
Anmeldetag: 3. März 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/02C23C14/50C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von