Method and system for automatic retraining of machine learning models for metrology metric estimation
WO2025188683
Art A1
11. September 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025188683
- Aktenzeichen
- EP25768218
- Anmeldetag
- 4. März 2025
- Veröffentlichung
- 11. September 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06N20/20H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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