Multiple flow path gas inlet with integrated heating and temperature control

WO2025188962 Art A1 12. September 2025

Anmelder: INFICON INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025188962
Aktenzeichen: EP25768953
Anmeldetag: 6. März 2025
Veröffentlichung: 12. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/04G01N27/623G01N30/72H01J49/02H01J49/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INFICON INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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