Multi-step chemical-mechanical polishing method for materials used in the semiconductor industry

WO2025190600 Art A1 18. September 2025

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025190600
Aktenzeichen
EP25704909
Anmeldetag
13. Februar 2025
Veröffentlichung
18. September 2025
Rechtsraum
WO
IPC
B24B53/017B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOITEC
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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