Method for adjusting temperature of member for semiconductor manufacturing device

WO2025191656 Art A1 18. September 2025

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025191656
Aktenzeichen: EP24929767
Anmeldetag: 11. März 2024
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C23C16/458H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK INSULATORS, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von