Charged particle beam device

WO2025191843 Art A1 18. September 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025191843
Aktenzeichen
EP24929630
Anmeldetag
15. März 2024
Veröffentlichung
18. September 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/244G01T1/20G01T1/208
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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