Shape acquisition method and system, and shape management method and system

WO2025191854 Art A1 18. September 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025191854
Aktenzeichen: EP24929641
Anmeldetag: 15. März 2024
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B21/32G01C9/00G01C15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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