Rectification plate, film formation device, and evaluation method for same

WO2025191947 Art A1 18. September 2025

Anmelder: NUFLARE TECHNOLOGY, INC., KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025191947
Aktenzeichen: EP24929513
Anmeldetag: 4. Dezember 2024
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/455H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

3.468 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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