Method for supplying active species using mist and film deposition device

WO2025192343 Art A1 18. September 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, NATIONAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025192343
Aktenzeichen: EP25769920
Anmeldetag: 3. März 2025
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B05D1/02B05B17/06B05C9/12B05C9/14B05D3/00B05D3/06C08F2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
NATIONAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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