Reflective mask blank, reflective mask, and method for manufacturing reflective mask

WO2025192373 Art A1 18. September 2025

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025192373
Aktenzeichen: EP25769802
Anmeldetag: 4. März 2025
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24G03F1/48G03F1/80H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von