Composition for manufacturing semiconductor device, semiconductor device manufacturing apparatus comprising same, and method for manufacturing semiconductor device

WO2025193007 Art A1 18. September 2025

Anmelder: SK SPECIALTY CO., LTD., SK HYNIX INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025193007
Aktenzeichen
EP25772253
Anmeldetag
14. März 2025
Veröffentlichung
18. September 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/027H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SK SPECIALTY CO., LTD.
SK HYNIX INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 SK hynix

Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.

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