Diffuser-less gray-tone lithography process, mask design, and fabrication method

WO2025193403 Art A1 18. September 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025193403
Aktenzeichen: EP25772398
Anmeldetag: 19. Februar 2025
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F1/48G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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