Near ir laser based contactless wafer temperature measurement

WO2025193547 Art A1 18. September 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, INDIAN INSTITUTE OF SCIENCE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025193547
Aktenzeichen: EP25772090
Anmeldetag: 7. März 2025
Veröffentlichung: 18. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/00G01J5/0821G01J5/08G01J5/061H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: LAM RESEARCH CORPORATION
INDIAN INSTITUTE OF SCIENCE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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🇮🇳 Indian Institute of Science

Das Indian Institute of Science ist eine indische Forschungsuniversität mit Sitz in Bengaluru. Das Patentportfolio verteilt sich breit über Medizintechnik, Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiter- und Softwaretechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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