Method for improved selective etching of silicon nitride over silicon oxide

WO2025195821 Art A1 25. September 2025

Anmelder: EVONIK OPERATIONS GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025195821
Aktenzeichen: EP25709721
Anmeldetag: 10. März 2025
Veröffentlichung: 25. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C09K3/14C07F7/18C09K13/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EVONIK OPERATIONS GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Organische Chemie

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