Substrate processing apparatus, substrate processing method, and article manufacturing method

WO2025197342 Art A1 25. September 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025197342
Aktenzeichen: EP25773897
Anmeldetag: 7. Februar 2025
Veröffentlichung: 25. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H10K71/40B05C9/12B05C11/10B05C15/00H10K50/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von