Method for manufacturing semiconductor substrate, composition for forming resist underlayer film, and method for producing nitrogen-containing compound

WO2025197551 Art A1 25. September 2025

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025197551
Aktenzeichen
EP25773742
Anmeldetag
5. März 2025
Veröffentlichung
25. September 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C07D239/74C07D239/82C07D413/14G03F7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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