Evaluation method and evaluation substrate for evaluating liquid substitution state near substrate surface
WO2025198001
Art A1
25. September 2025
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025198001
- Aktenzeichen
- EP25774362
- Anmeldetag
- 20. März 2025
- Veröffentlichung
- 25. September 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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