Ceramic heater assembly with internal and external heating functionality useful in the fabrication of microelectronic devices

WO2025198701 Art A1 25. September 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025198701
Aktenzeichen: EP25775030
Anmeldetag: 17. Januar 2025
Veröffentlichung: 25. September 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458C23C16/46C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von