Hydrofluorocarbon compounds and their use integrated circuit manufacturing processes

WO2025199459 Art A1 25. September 2025

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025199459
Aktenzeichen
EP25717530
Anmeldetag
21. März 2025
Veröffentlichung
25. September 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C09K13/00H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
VERSUM MATERIALS US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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