Deformation measurement of a clamped object with an integrated optics near-field sensor

WO2025201791 Art A2 2. Oktober 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025201791
Aktenzeichen: EP25711612
Anmeldetag: 27. Februar 2025
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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