Euv radiation generating method

WO2025201792 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: STICHTING VU, STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I, UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM, RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN, ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025201792
Aktenzeichen: EP25709975
Anmeldetag: 28. Februar 2025
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: STICHTING VU
STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I
UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM
RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Rijksuniversiteit Groningen

Die Rijksuniversiteit Groningen ist eine niederländische Universität mit breiter medizinischer und naturwissenschaftlicher Forschung. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, organische Chemie sowie Pharma- und Biotechnologie ab.

316 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.359 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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