Systems and methods for electrode position sensing and adjustment

WO2025202806 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025202806
Aktenzeichen: EP25712679
Anmeldetag: 6. März 2025
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/036H01S3/038H01S3/097H01S3/0971H01S3/134H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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