Sample holder assembly, charged particle beam device, and sample setting method

WO2025203539 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025203539
Aktenzeichen: EP24932441
Anmeldetag: 29. März 2024
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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