Wafer transfer arm and wafer transfer system

WO2025203718 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD., HARMOTEC CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025203718
Aktenzeichen: EP24931958
Anmeldetag: 12. Juli 2024
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/06B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
HARMOTEC CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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