Positive resist composition, method for forming resist pattern, and polymer

WO2025203874 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: ZEON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025203874
Aktenzeichen
EP24931742
Anmeldetag
29. November 2024
Veröffentlichung
2. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08F220/22G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ZEON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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